1、光檢測器

　　光檢測器是將散射光能量轉換為電信號的光電轉換器件。激光塵埃粒子計數(shù)器中常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

　　光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，光譜具有線性好、響應時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路。

　　2、流里監(jiān)控

　　目前國產(chǎn)塵埃粒子計數(shù)器常采用轉子流量計作流量指示，則儀器的流量調(diào)節(jié)大多數(shù)是直接調(diào)節(jié)轉子流量計上的旋鈕，此時儀器的控制電路對流量是沒有監(jiān)控的。進口塵埃粒子計數(shù)器通過流量傳感器對流量進行監(jiān)測，通過手動調(diào)節(jié)或自動反饋調(diào)節(jié)。

　　塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min(進口儀器常以“立方英尺每分”為單位，標記為0.1cfm或1cfm)，主要是為了便于進行符合209E的潔凈度的計算。

　　3、光源

　　光源是塵埃粒子計數(shù)器的關鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。

　　光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管

　　采用普通光源的塵埃粒子計數(shù)器對0.3μm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標有0.3μm這一通道，但只適于測定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。

　　4、測量腔

　　測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量，被與人射光成一角度(90或70)的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

　　5、氣泵及過濾器

　　氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉0.3μm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。

　　6、電路系統(tǒng)

　　不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉換后，會產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關系，也叫轉換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的，例如某臺塵埃粒子計數(shù)器的轉換靈敏度為0.3μm對應69mV，0.5μm對應531mV，1.0μm對應701mV等，若塵埃粒子計數(shù)器檢測到一個脈沖為100mv，則這個粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm。